平台坐落于海宁国际校区1E楼，一期建筑面积约1326平米，其中净化实验区域实用面积约720平米，包括百级洁净区约100平米，千级洁净区约440平米，万级洁净区约180平米。平台拥有先进的微纳加工及测试设备：双面对准光刻机、感应耦合等离子体刻蚀系统、原子层沉积系统、磁控溅射和蒸发薄膜沉积设备、快速退火炉、金相荧光显微镜、台阶仪、半导体参数分析仪、探针台等，能够满足半导体微纳器件的基本加工工艺和表征要求，支持校内外师生和研究人员在多领域、交叉学科开展前沿科学研究和技术开发。

地址：浙江省嘉兴市海宁市硖石街道海州东路718号浙江大学海宁国际校区1E楼