基准工艺流程用来监察微纳公共平台内设备的状态，以快速诊断和解决工艺过程中遇到的问题。同时，基准工艺流程亦提供有关设备能力的最新资讯，以及涉及材料的特性。报告内容涵盖工艺流程、详细工艺步骤和线内测试结构、单个器件以及标准电路的测试结果等，详细报告每年更新。它可以协助用户确立起始参考点，以继续进行他们的研究项目。基准工艺流程工序以基本工序模组所组成，用户可引用任何模组设计自己的工序。在基准工艺流程的掩膜版设计中，会预留位置让用户加入他们自己的工艺过程与基准工艺流程相同的设计。