关于“纳米压印机（气压试）”正式投入运行的通知

       为提升用户的科研能力，我平台新增一台仪器设备——“纳米压印机（气压试）”。该仪器具有热压印和紫外压印功能，具有方法灵活、成本低廉的特点，并可得到高分辨率、高深宽比结构，分别可做到最小尺寸5nm和10nm，广泛应用于集成电路、光学、存储、生物等领域。近日，平台已完成该设备的安装、调试和技术培训工作，设备已正式投入运行，欢迎广大师生前来开展相关实验。